Sensor inductivo sensible a la posición basado en efecto fotovoltaico lateral y sistema de medida que lo comprende

Entidad:
Centro:
Categoría:
Equipo inventor:

Texto:

Se describe un detector sensible a la posición basado en efecto fotovoltaico lateral que comprende un sustrato semiconductor, una capa de óxido, sobre el sustrato, dicha capa de óxido con un espesor de 1 nm a 2 nm y una pluralidad de contactos metálicos situados sobre la capa de óxido, con dichos contactos interconectados mediante una línea metálica. Dicha línea tiene una longitud al menos 100 veces su ancho, siendo el ancho de la línea al menos 1.000 veces mayor que su espesor. Mediante un sistema de medida con una fuente de iluminación láser, un voltímetro y unos medios de procesamiento se puede medir la posición sobre el detector donde incide el haz proveniente de la fuente de iluminación con resolución temporal mayor de 1 milisegundo.

Aplicación industrial:
Aspectos innovadores:
Pdf: